UV 固化機

設備特色

1. 對應特定製程設定照射能量
2. 板面冷卻系統幫助降溫
3. 能量補正功能可延長燈管壽命
4. 可選擇單面/雙面曝光

 

全自動化

1. 對應SECS/GEM需求
2. 可搭配EFEM進行投收板
3. 適用於厚度0.2mm-3mm的CCL及玻璃基板

 

設備安全規範

1. 符合SEMI S2、S8規範
2. 符合CE、UL規範