自動烘烤系統
半導體、先進封裝製程設備
自動烘烤系統
可對應APL預烤, Sintering 烤箱, Annealing 烘烤, ABF烘烤, Sputter 鍍膜前去水烘烤, 光阻/Dielectric 預烤 後烤 PEB, Molding 後烘烤
說明
群翊烘烤設備,有著精準的溫控系統,能設定升降溫速度熱能, 以配合不同材質的元件, 不同的熱膨脹係數。 擁有豐富的軟硬體經驗,整合EFEM自動化系統, ,符合SECS/GEM300 規範。, N2 Hot Air Clean Oven, Vacuum N2 Hot Air Oven, Vacuum IR Oven, Vacuum Hot Plate Oven, Horizontal & Vertical Baking
規格
