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光清洗改質機

UV Clean System

光清洗改質機

特色

  • 結合IR與冷卻段形成一完整連線系統
  • 氛氣導流控制,達到最佳光清洗改質效果
  • 針對各式用途,選配185/254nm低壓水銀燈管及172nm Excimer燈管
  • 燈管、電源裝置,本體與搬送裝置一貫設計,追求高性能、高品質

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