• LCD, Touch Panel, Back Light, Solar Cell Application

5KW/8KW 平行光曝光機

Collimated Exposure Machine

用途

pattern形成及ITO蝕刻

特色

• 採用日本原裝進口ORC,USHIO同等光學部品。
• 採用加大尺寸之平行光鏡,標準曝光面積可達610mmx 610mm。
• 台面進出之驅動馬達特別設計於曝光室外,有效避免發塵污染。