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5KW/8KW 平行光曝光機

Collimated Exposure Machine

平行光曝光機

用途

pattern形成及ITO蝕刻

特色

  • 採用日本原裝進口ORC,USHIO同等光學部品。
  • 採用加大尺寸之平行光鏡,標準曝光面積可達610mmx 610mm。
  • 台面進出之驅動馬達特別設計於曝光室外,有效避免發塵污染。

 

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