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含浸塗佈機

Dip Coater

含浸塗佈機

特色

  • 包含塗佈,乾燥及冷卻,一貫作業全自動生產線。
  • 兩面同時進行含浸塗佈,形成薄膜,配合光阻油墨,薄膜膜厚3μ~12μ 。
  • 量產線每次Max20片同時含浸塗佈,每小時最大可處理360片。
  • 基板尺寸變換可完全不用停機。
  • 配備濃度管理裝置,光阻濃度全自動管理。
  • 採用高無塵度之懸吊輸送方式,最適合應用於高階製程。
  • 比蒸鍍或濺鍍之薄膜形成更低成本。
  • 另有半自動機型,歡迎來電洽詢。

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